设备
查看标准SEMI F61-0521
SEMI F61-0521 半导体超纯水系统设计与运行指南
标准依据库
把标准版本、适用阶段和执行风险放到同一张表里
标准库用于确认适用范围、执行阶段、版本状态、替代关系以及与样品和检测指标的关系，避免方案引用过期或边界不清的标准。
按适用层级筛选
按版本状态筛选
按适用阶段筛选
方法
查看标准ASTM D5127
ASTM D5127 电子和半导体行业超纯水指南
验收
查看标准CUSTOMER-SPEC
客户内控规格/供应商审核规范
安全
查看标准GAS-SAFETY
高纯气体与特气安全使用要求
验收
查看标准ISO 14644
ISO 14644 洁净室与受控环境标准簇
验收
查看标准ISO 14644-1
ISO 14644-1 洁净室空气洁净度等级分类
方法
查看标准ISO 14644-8
ISO 14644-8 洁净室空气分子污染 AMC 分类
验收
查看标准SEMI F63
SEMI F63 超纯水用于半导体工艺指南
方法
查看标准SEMI-CHEM-CLUSTER
SEMI 电子级化学品相关标准簇（待按客户项目确认具体编号）
验收
查看标准SEMI-CONTAMINATION-CLUSTER
SEMI 污染控制与洁净相关标准簇（待核验具体编号）
验收
查看标准SEMI-GAS-CLUSTER
SEMI 高纯气体与供气相关标准簇（待核验具体编号）
验收
查看标准SEMI-UPW-CLUSTER
SEMI 超纯水 UPW 相关标准簇（待按客户项目确认具体编号）
方法
查看标准SEMI-WAFER-CLUSTER
SEMI 晶圆与表面污染相关实践簇（待核验具体编号）