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标准依据

GAS-SAFETY

高纯气体与特气安全使用要求

该标准状态需要确认

该标准版本状态不明确,建议在执行前确认发布机构、版本号和生效日期。

适用范围

用于高纯气和特气实验室管路、通风、报警、泄漏和人员安全边界。

发布/归口:安全/客户内控适用阶段:design / operation

使用提示

涉及特气时应先确认安全评价、气柜、尾气处理和应急预案。

关联样品

关联检测指标

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