设备
查看标准SEMI F61-0521
SEMI F61-0521 半导体超纯水系统设计与运行指南
标准依据库
把标准版本、适用阶段和执行风险放到同一张表里
标准库用于确认适用范围、执行阶段、版本状态、替代关系以及与样品和检测指标的关系，避免方案引用过期或边界不清的标准。
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数据
查看标准SEMI F75-0521
SEMI F75-0521 半导体制造超纯水质量监测指南
方法
查看标准ASTM D5173
ASTM D5173 水中碳化合物在线监测方法
方法
查看标准ASTM D5391
ASTM D5391 高纯水流动样品电导率和电阻率测试方法
方法
查看标准ASTM D5462
ASTM D5462 高纯水低水平溶解氧在线测量方法
方法
查看标准ASTM F1094
ASTM F1094 微电子工艺用水微生物监测方法
验收
查看标准CUSTOMER-SPEC
客户内控规格/供应商审核规范
安全
查看标准GAS-SAFETY
高纯气体与特气安全使用要求
验收
查看标准ISO 14644
ISO 14644 洁净室与受控环境标准簇
数据
查看标准ISO 14644-2
ISO 14644-2 洁净室空气洁净度监测
方法
查看标准ISO 14644-8
ISO 14644-8 洁净室空气分子污染 AMC 分类
方法
查看标准JEDEC-RELIABILITY-CLUSTER
JEDEC 半导体可靠性标准簇（按器件类型确认）
验收
查看标准SEMI-CONTAMINATION-CLUSTER
SEMI 污染控制与洁净相关标准簇（待核验具体编号）
验收
查看标准SEMI-GAS-CLUSTER
SEMI 高纯气体与供气相关标准簇（待核验具体编号）
验收
查看标准SEMI-UPW-CLUSTER
SEMI 超纯水 UPW 相关标准簇（待按客户项目确认具体编号）