适用范围用于洁净室及受控环境中空气分子污染分类与方法框架。发布/归口：ISO适用阶段：design / acceptance / operation使用提示AMC 需按具体污染物、采样介质、采样时长和分析方法确认。关联检测指标洁净室悬浮粒子粒度/孔结构counts/m3AMC 分子污染化学ug/m3 or ppb高低温/湿热可靠性degC/%RH洁净室压差理化Pa风速/换气次数理化m/s or ACH表面残留/清洁验证化学ug/cm2
