设备
查看标准SEMI F61-0521
SEMI F61-0521 半导体超纯水系统设计与运行指南
标准依据库
把标准版本、适用阶段和执行风险放到同一张表里
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数据
查看标准SEMI F75-0521
SEMI F75-0521 半导体制造超纯水质量监测指南
方法
查看标准ASTM / ISO 材料测试方法
材料粒度、热分析、物性和表征方法
设备
查看标准ASTM B117
盐雾试验方法
方法
查看标准ASTM D5127
ASTM D5127 电子和半导体行业超纯水指南
方法
查看标准ASTM D5173
ASTM D5173 水中碳化合物在线监测方法
方法
查看标准ASTM D5391
ASTM D5391 高纯水流动样品电导率和电阻率测试方法
方法
查看标准ASTM D5462
ASTM D5462 高纯水低水平溶解氧在线测量方法
方法
查看标准ASTM D6317
ASTM D6317 水中低水平总碳/无机碳/有机碳测定方法
方法
查看标准ASTM F1094
ASTM F1094 微电子工艺用水微生物监测方法
实验室
查看标准CMA 资质认定评审准则
检验检测机构资质认定评审准则
实验室
查看标准CNAS-CL01
检测和校准实验室能力认可准则
实验室
查看标准CNAS-CL01-G001
CNAS-CL01 应用说明
验收
查看标准CUSTOMER-SPEC
客户内控规格/供应商审核规范
安全
查看标准GAS-SAFETY
高纯气体与特气安全使用要求
安全
查看标准GB 15603
常用化学危险品贮存通则
安全
查看标准GB 19489
实验室生物安全通用要求
样品
查看标准GB 3838
地表水环境质量标准
方法
查看标准GB 4789 系列
食品安全国家标准 食品微生物学检验
方法
查看标准GB 5009 系列
食品安全国家标准 食品理化检验方法