适用范围用于洁净室等级、粒子计数、运行监测和洁净受控环境相关内容。发布/归口：ISO适用阶段：design / acceptance / operation使用提示应结合客户洁净等级、工况、监测点位和验收阶段确认适用部分。关联样品电子洁净室空气与运行环境洁净室、局部洁净区、设备周边和人员活动区域电子洁净室表面擦拭/晶圆表面萃取工作台面、设备表面、洁净服、晶圆表面或载具表面电子半导体高纯气体高纯氮、氩、氢、氧、氦和特种工艺气体关联检测指标洁净室悬浮粒子粒度/孔结构counts/m3AMC 分子污染化学ug/m3 or ppb高低温/湿热可靠性degC/%RH洁净室压差理化Pa风速/换气次数理化m/s or ACH表面残留/清洁验证化学ug/cm2
