适用范围用于按空气中粒子浓度对洁净室和受控环境进行等级分类。发布/归口：ISO适用阶段：design / acceptance使用提示洁净室验收时需明确静态/动态工况、粒径、点位和采样量。关联检测指标洁净室悬浮粒子粒度/孔结构counts/m3AMC 分子污染化学ug/m3 or ppb高低温/湿热可靠性degC/%RH洁净室压差理化Pa风速/换气次数理化m/s or ACH表面残留/清洁验证化学ug/cm2
