适用范围
用于 UPW 系统工程、组件、分配、POU、调试、运行和维护边界确认。
发布/归口：SEMI生效日期：2021-05-01适用阶段：design / acceptance / operation
使用提示
应与 SEMI F63、SEMI F75 以及客户内控限值配合使用，不能替代现场工程规格书。
标准依据
SEMI F61-0521
SEMI F61-0521 半导体超纯水系统设计与运行指南
标准依据
SEMI F61-0521 半导体超纯水系统设计与运行指南
用于 UPW 系统工程、组件、分配、POU、调试、运行和维护边界确认。
应与 SEMI F63、SEMI F75 以及客户内控限值配合使用，不能替代现场工程规格书。