适用范围用于电子和半导体行业 UPW 指标、取样和检测方法框架。发布/归口：ASTM适用阶段：design / acceptance使用提示适合与 SEMI UPW 系列和客户内控限值共同使用。关联检测指标半导体痕量金属元素ng/L or ug/L阴阳离子杂质化学ug/L卡尔费休水分化学ppm液体颗粒物粒度/孔结构counts/mL不挥发残渣 NVR化学mg/L or ppm有机杂质/分解产物有机ppm纯度/主成分浓度化学%UPW 电阻率/电导率理化MOhm.cm / uS/cm半导体水 TOC有机ug/L溶解氧化学ug/L菌落总数微生物CFU
