适用范围用于半导体工艺水微生物监测规划。发布/归口：ASTM适用阶段：acceptance / operation使用提示取样阀、预灭菌袋、现场操作和培养记录影响结果可信度。关联检测指标UPW 电阻率/电导率理化MOhm.cm / uS/cm半导体水 TOC有机ug/L液体颗粒物粒度/孔结构counts/mL半导体痕量金属元素ng/L or ug/L阴阳离子杂质化学ug/L溶解氧化学ug/L菌落总数微生物CFU
