适用范围用于建立洁净室粒子监测计划和持续符合性证据。发布/归口：ISO适用阶段：acceptance / operation使用提示适合作为监测点位、频次、报警和运行记录的框架。关联检测指标洁净室悬浮粒子粒度/孔结构counts/m3AMC 分子污染化学ug/m3 or ppb高低温/湿热可靠性degC/%RH洁净室压差理化Pa风速/换气次数理化m/s or ACH表面残留/清洁验证化学ug/cm2
