标准依据库
标准库用于确认适用范围、执行阶段、版本状态、替代关系以及与样品和检测指标的关系,避免方案引用过期或边界不清的标准。
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显示 5 条标准依据,已按生效日期优先排序
客户内控规格/供应商审核规范
ISO 14644 洁净室与受控环境标准簇
SEMI 污染控制与洁净相关标准簇(待核验具体编号)
SEMI 高纯气体与供气相关标准簇(待核验具体编号)
SEMI 超纯水 UPW 相关标准簇(待按客户项目确认具体编号)