ICP-MS 适合半导体、高纯材料、电池材料和环境样品中的痕量/超痕量元素分析。和常规 ICP-OES 相比，ICP-MS 对实验环境、试剂纯度、前处理污染控制、标准物质和数据复核要求更高，配置时必须把样品处理链路一起纳入预算。
典型对象包括高纯试剂、电子化学品、硅材料、金属靶材、电池材料、超纯水和工艺污染监测。不同基质的干扰差异很大，方法开发前需要确认元素范围、检出限、样品消解方式和内标策略。
典型对象包括高纯试剂、电子化学品、硅材料、金属靶材、电池材料、超纯水和工艺污染监测。不同基质的干扰差异很大，方法开发前需要确认元素范围、检出限、样品消解方式和内标策略。