适用范围用于低水平 TOC、TC、IC 测定方法规划。发布/归口：ASTM适用阶段：acceptance使用提示适合半导体水低背景 TOC 复核和实验室方法边界说明。关联检测指标UPW 电阻率/电导率理化MOhm.cm / uS/cm半导体水 TOC有机ug/L液体颗粒物粒度/孔结构counts/mL半导体痕量金属元素ng/L or ug/L阴阳离子杂质化学ug/L溶解氧化学ug/L菌落总数微生物CFU
