晶圆厂气体供应切换至本地液化气源后，发现前段制程（扩散/CVD工序）良率下降约1.2%，排查疑点指向气体纯度异常。原有气体分析仪仅能检测H₂O和O₂，无法完成全杂质谱扫描及内部气体验收。需在6周内完成实验室建设，覆盖所有关键进场气体的SEMI标准验收能力。

某12英寸晶圆厂高纯气体质量管控实验室建设与验收

为一座月产能6万片12英寸晶圆厂配套建设高纯气体在线监测和离线验收实验室，确保N₂、H₂、O₂、Ar等工艺气体痕量杂质满足SEMI C1/C3标准，实现仪器级全流程验收能力。