整体解决方案
面向晶圆厂 UPW 系统、用水点和回水监测，配置电阻率、TOC、颗粒、痕量金属、阴阳离子、硅、硼、微生物和溶解氧检测能力。
用于 UPW 制备系统、分配环路、POU 用水点、热超纯水、清洗工艺用水和实验室复核。
请填写实验室类型、检测项目、目标标准、现有条件和预算阶段，提交后可获得配置建议、交付边界和资料清单。
