material
查看指标涂层厚度
配置通常包括主分析仪器、样品前处理、标准品/质控样、关键耗材、纯水或气体条件、数据记录和维护点检。最终型号应结合通量、预算和现场条件确认。
检测指标库
把检测目标转译成方法、质控和仪器需求
每个指标记录方法提示、质控要求和仪器配置影响，方便从项目需求快速拆解配置清单。
按指标类型筛选
可靠性
查看指标电气绝缘性能
配置应包括主分析仪器、前处理设备、关键耗材、标准品/质控样、环境条件、数据记录和维护计划。
化学
查看指标灰分
配置应包括主分析仪器、前处理设备、关键耗材、标准品/质控样、环境条件、数据记录和维护计划。
food-contact
查看指标迁移风险指标
配置应包括主分析仪器、前处理设备、关键耗材、标准品/质控样、环境条件、数据记录和维护计划。
理化
查看指标UPW 电阻率/电导率
在线电阻率/电导率仪、流通池、超纯水系统记录。
有机
查看指标半导体水 TOC
在线或离线 TOC 分析仪、低 TOC 取样容器。
元素
查看指标半导体痕量金属
ICP-MS、ICP-OES、洁净前处理和高纯水系统。
化学
查看指标阴阳离子杂质
离子色谱、自动进样、超纯水和离子标准品。
粒度/孔结构
查看指标液体颗粒物
液体颗粒计数器、洁净取样系统。
化学
查看指标卡尔费休水分
库仑法/容量法卡尔费休水分仪。
化学
查看指标不挥发残渣 NVR
分析天平、洁净蒸发/干燥系统。
有机
查看指标有机杂质/分解产物
GC、GC-MS、HPLC/UHPLC。
化学
查看指标纯度/主成分浓度
滴定系统、HPLC/GC、密度计或光谱系统。
粒度/孔结构
查看指标洁净室悬浮粒子
空气粒子计数器、环境监测系统。
化学
查看指标AMC 分子污染
AMC 采样系统、IC、GC-MS 或专用分析模块。
理化
查看指标风速/换气次数
风速仪、风量罩、环境验证工具。
化学
查看指标表面残留/清洁验证
擦拭采样工具、IC、TOC、ICP-MS 或光谱系统。
元素
查看指标晶圆表面金属污染
ICP-MS、洁净萃取工具。
化学
查看指标离子污染/离子残留
离子色谱、洁净萃取/擦拭系统。
粒度/孔结构
查看指标表面颗粒/缺陷密度
表面颗粒/缺陷检测设备或显微观察系统。
理化
查看指标膜厚与均匀性
膜厚仪、椭偏/反射测量系统。
理化
查看指标片电阻
四探针/片电阻测试系统。
理化
查看指标表面粗糙度
轮廓仪、AFM 或光学表面分析设备。
化学
查看指标高纯气体水分
微量水分仪、露点仪、采样钢瓶。