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电感耦合等离子体质谱分析法是将电感耦等离子体（ICP）技术和质谱（MS）技术结合起来， 利用等离子体作为离子源，由接口将等离子体中被电离了的试样离子引入质谱仪，用质谱仪对离子进行质量分析（按 m/Z 比值将不同的离子分开）并检测记录，根据所得质谱图进行定性定量分析。 具有以下几个优点： （1）灵敏度高：ICP-MS 仪器的灵敏度一般高出 ICP-AES 一到两个数量级，从而对多数元素能达到更低的检出限； （2）动态线性范围宽； （3）可多元素同时分析； （4）分析速度快，单个样品一般在几秒钟内 完成； （5）分析元素范围广，能分析元素周期表中除碳、氢、氧外的绝大多数元素。 正因为这些优点，使 ICP-MS 分析技术广泛应用于半导体工业用高纯材料的痕量杂质分析中。